パーティクルカウンター(クリーンルーム用)

113-1739 液中パーティクルカウンター レンタル

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商品番号 113-1739
商品名 液中パーティクルカウンター レンタル
型式 KL30B
メーカー名 リオン
1ヶ月基本料金 765,000円 (税込841,500円)

主な仕様

・光散乱方式
・光源 半導体レーザ(波長 830nm、定格出力 200mW)
・接液部材質 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、
 SUS304/316、パイレックスガラス、POM
・定格流量 10ml/minとパージ流量0.1~1L/minの合計
・設定範囲 0.05~0.2μm
・最大粒子個数濃度 200000個/ml(計数損失10%以内)
・ [別途:992014普通紙]

※ご利用約款を必ずお読み下さい

特長

0.05μm、超純水の粒子汚染を監視。
センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ。
超純水ラインに直接インストール、プロセスを管理。

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