減圧装置・真空ポンプ

113-1489 ターボ排気ユニット   レンタル

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商品番号 113-1489
商品名 ターボ排気ユニット   レンタル
型式 TS75D1002
メーカー名 キャノンアネルバ
1ヶ月基本料金 234,000円 (税込257,400円)

主な仕様

・ターボ排気ユニット(T-Station75D)
・ターボ分子ポンプ/ダイアフラムポンプ
・排気速度 42L/sec(N2)
・インレットフランジ NW40
・背圧ポンプ排気速度(50Hz) 20L/min
・到達圧力 5×10-6Pa
・電源 AC100V 50/60Hz

※ご利用約款を必ずお読み下さい

特長

シンプルなコントローラを搭載したコンパクトなターボポンプステーションです。
コントローラが標準で装備されており、ボタン一つでシステムの始動と停止を行うことができます。

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