レンタル

減圧装置・真空ポンプ

113-1014 ドライターボ排気装置　レンタル

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商品番号	113-1014
商品名	ドライターボ排気装置　レンタル
型式	VPT-060
メーカー名	アルバック機工
1ヶ月基本料金	164,000円 (税込180,400円)

主な仕様

・ターボ分子ポンプ 60L/sec
・ダイアフラム型 20L/min
・到達圧力 10-5Pa
・吸気口フランジ ISO63，KF40，AC100V 0.3kVA
・オプション．ISO63⇒KF40変換配管，ベントバルブ

※ご利用約款を必ずお読み下さい

特長

ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。