汎用理化学機器

113-1515 プラズマプロセス   モニターレンタル

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商品番号 113-1515
商品名 プラズマプロセス   モニターレンタル
型式 C10346-01
メーカー名 浜松ホトニクス
1ヶ月基本料金 453,000円 (税込498,300円)

主な仕様

・測定波長 200~950nm
・波長分解能(FWHM) <2nm
・通信インターフェース USB2.0
・測定波長精度±0.75nm
・データ解析装置ノート型C15163-01
・アナログ出力端子 2チャンネル 0 V~10 V
・電源 AC100~240V 50/60Hz

※ご利用約款を必ずお読み下さい

特長

半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。
各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。

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