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日立ハイテク社製 イオンミリング装置 IM4000型です。
イオンミリング装置は、収束させないアルゴンイオンビームを試料に照射し、スパッタリング現象を利用して応力をかけずに試料表面を研磨できる試料前処理装置として、半導体デバイス分野や材料分野をはじめ、各種産業の研究、品質管理など、多方面で活用されています。