商品番号 |
511-b485 |
商品名 |
FIB-SEM電子顕微鏡 |
型式 |
NX2000 |
年式 |
2017年購入 |
メーカー名 |
日立ハイテク |
定価 |
370,000,000円 (税込407,000,000円) |
販売価格 |
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主な仕様
構成
・自動u-Sシステム
・MGS2 3リザアーバ(C,W,Pt)
・Ar鏡筒複数ガス種対応システム
・Swingシステム
・マイクロサンプリングシステムMPS-IV(4軸)
・ダブルチルトシステム
・200mmウエハー用試料ホルダー
・垂直水平TEM加工用試料台
・連続A-TEM2
・冷却水循環装置
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